16일 RIST에 따르면 하이브리드소재, 세라믹, 반도체, 나노소재, 극한금속소재 등 첨단소재의 개발을 주도하고 있는 RIST는 이러한 소재의 단일 원자를 100억분의 1미터 단위까지 분석할 수 있는 ‘차세대 구면수차 보정 투과전자현미경(Cs-Corr. TEM)’을 도입했다.
국내에서 운용되고 있는 Cs-Corr. TEM은 약 40여 대로 추정되고 있으나, 이 중 대부분은 1세대 또는 2세대 장비로써, 열 음극형 전계방출 전자총(FEG)을 갖추고 있고, 단일 구면수차 보정기만 설치돼 있다.
최근 RIST가 도입한 Cs-Corr. TEM은 3세대 장비로써, 훨씬 향상된 에너지 분해능, 고휘도, 고안정성, 고수명의 냉 음극형 FEG가 채택되었고, 전자현미경의 성능을 나타내는 분해능에 영향을 주는 구면수차를 보정하기 위해 두 개의 구면수차 보정기가 시편 장입부의 위, 아래에 설치되어 있다.
RIST는 지난 9개월 여 동안의 시험운전을 통해 지난달 최종설치를 완료했으며, 포스코, 포스텍을 비롯한 국내 유수 연구기관, 대학, 기업 등과의 연구협력 및 시험분석 서비스에 착수했다.
RIST 분석평가그룹의 허 윤 박사는 “RIST는 한국인정기구(KOLAS) 인증 3년 연속 국내최고시험분석기관으로 선정되는 등 국내최고수준의 시험분석인프라를 구축하고 국내외 시험분석평가 분야에서 두각을 나타내고 있다”며 국내외 대학, 연구기관, 기업 등과의 공동연구 및 분석지원에 이번에 도입한 Cs-Corr. TEM 장비를 활용할 계획으로, 소재 분야에서 세계적 수준의 연구성과를 창출하고 국가소재 산업 발전에 기여할 것”이라고 말했다.
포항=장영태 기자 3678jyt@segye.com